가천대학교가 2030년까지 총 83억원의 국비를 투입해 원자 크기 소자의 특성을 연구하는 데 필요한 '수차보정 투과전자현미경(Cs-corrected TEM)'을 도입합니다.
정부 지원을 받아 첨단 반도체를 연구할 수 있는 인프라를 구축하는 거죠. 이 전자현미경은 가천대 바이오나노융합소재연구센터에서 주로 사용하게 될 거예요.
기천대가 많은 비용을 투입해 도입하려는 현미경은 원자 수준으로 작디작은 반도체 소자의 구조와 특성을 정밀하게 분석할 수 있는 '수차보정 투과전자현미경'이예요. 정밀한 연구를 하려면 현미경만 있다고 되는 건 아니겠죠. 전자현미경과 함께 도입되는 장비도 여렷 있어요. △에너지 분산 분광기(EDS) △전자 에너지 손실 분광기(EELS) △고속 전자빔 측정기(4D-STEM) △전자빔 유도 전류 측정 시스템(EBIC) △로렌츠 렌즈 △실시간 전압·자기장 인가 홀더 △진공 이송 냉각 홀더 등 다양한 첨단 하드웨어가 함께 구축돼요.
가천대는 이를 통해 국내 대학 최초로 서브나노미터(10억분의 1m)급 반도체 소자의 특성 매핑과 오퍼란도(Operando, 실제 작동 환경에서의 실시간 분석) 연구가 가능할 것으로 기대하고 있어요.
이 사업은 지난 4월 교육부 '2025년 인프라 고도화 지원과제'에 선정되면서 시작됐어요. 대학 내 첨단 연구장비와 기반시설을 강화해 미래 혁신 연구를 촉진하고, 고부가가치 연구 생태계 조성을 목표로 추진하는 거죠.
연구에는 윤상문 교수(반도체물리학과), 최두호·이수길·엄기태·진강태 교수(반도체공학과), 조의식 교수(전자공학과) 등 관련 교수진이 참여해, 차세대 반도체 소자 연구에 본격적으로 나설 예정이예요.
가천대 관계자는 “최첨단 분석 인프라를 바탕으로 반도체 분야의 혁신적 연구 성과 창출과 산업계 협력 확대에 기여하겠다”고 말했어요.
최정훈 기자 jhchoi@etnews.com